5-оски мелени керамички изолатори за полупроводничка опрема и чисти простории

Во светот на производство на полупроводници и чисти простории со високи влогови, секоја компонента мора да испорача беспрекорни перформанси.ПФТ, ние сме специјализирани за изработка5-оски глодани керамички изолаторикои ја редефинираат прецизноста и сигурноста. Со над 20+Со години искуство, нашите решенија се дизајнирани да ги задоволат строгите барања на полупроводничката опрема, обезбедувајќи термичка стабилност, електрична изолација и работа без контаминација во ултрачувствителни услови.

Зошто да ги изберете нашите 5-оски фрезирани керамички изолатори?

1.Напредни производствени можности

Нашиот објект е опремен сонајсовремени 5-оски CNC фрезови, овозможувајќи прецизност на микронско ниво при обликување на напредна керамика како што се алумина (Al₂O₃), силициум карбид (SiC) и алуминиум нитрид (AlN). За разлика од конвенционалните методи, обработката со 5 оски овозможува сложени геометрии - што е критично за компоненти како што се иглички за подигнување на плочки, делови од комора за таложење и изолатори отпорни на плазма.

Клучни карактеристики:

•Прецизност:Толеранција од ±0,005 mm за беспрекорна интеграција во ASML литографски алатки или системи за гравирање на Lam Research.
•Разновидност на материјалот:Оптимизиран за 99,8% алумина, SiC со висока чистота и друга напредна керамика.
•Завршна обработка на површината:Ra <0,2μm за минимизирање на генерирањето честички во чисти простории со ISO класа 1.

2.Сопствено процесно инженерство

Нашите инженери развијаконтроли на процесите во затворен циклускои се прилагодуваат на кршливоста на керамиката за време на машинската обработка. Со комбинирање на техниките на суво мелење со пригушување на вибрациите во реално време, постигнуваме површини без пукнатини и продолжен век на траење на компонентите - дури и при екстремни термички циклуси (до 1.600°C).

Иновација во фокусот:

•Протоколи за ублажување на стресот:Минимизирајте ги микро-фрактурите кај AlN изолаторите за CVD апликации.
•Третмани по машинирањето:HIP (топло изостатско пресување) ја зголемува густината и отпорноста на корозија.

3.Ригорозна гаранција за квалитет

Секој изолатор се подложува на12-фазна инспекција, вклучувајќи:

•CMM (Машина за мерење на координати)валидација на критични димензии.
•Тестирање за истекување на хелиумза компатибилност со вакуум.
•EDS (Енергетски дисперзивна рендгенска спектроскопија)за да се потврди чистотата на материјалот.

НашетоСистем сертифициран според ISO 9001/14001Обезбедува следливост од набавката на суровини (набавени од добавувачи од прво ниво како што е CoorsTek) до конечното пакување.

Примени: Каде прецизноста се среќава со перформансите

Нашите изолатори се доверливи во:

•Алатки за гравирање и нанесување:Компоненти обложени со SiC за плазма отпорност во модули Applied Materials™.
•Јонски имплантатори:Алуминатни подигнувачки иглички со антистатички премази за да се спречи лизгање на плочките.
•Метролошки системи:Изолатори со ниска термичка експанзија за EUV литографски фази.

Студија на случај:Водечкиот производител на оригинална опрема за полупроводници го намали времето на застој на алатите за 40% откако се префрли на нашите туш глави од SiC со специјално дизајниран дизајн, кои ги надминаа конкурентските делови во обработката на плочки од 300 mm.

Надвор од производството: партнерски пристап

•Брзо прототипирање:Поднесете ги вашите CAD датотеки и добијте функционални прототипови за 7 дена.
•Пакување за чисти простории на лице место:Опционално склопување во чиста просторија од класа 10 за директна интеграција со алатки.
•Доживотна техничка поддршка:Нашите инженери обезбедуваат услуги за анализа на абење и преработка за да го продолжат животниот циклус на компонентите.